赵书霞,女,副教授,硕导,从事低气压射频等离子体源的研究。早期考察过射频感性放电的回滞、碳氟性气体的放电过程和硅基片刻蚀等,近期在攻克电负性射频气体放电结构。它是一扇窗户,反应了等离子体内部加热和平衡、以及维持机制,是等离子体集体相互作用、腔室边界和复杂化学动力学过程耦合的结果,了解放电结构可以拓宽我们对基本等离子体过程的认识,建立从空间等离子体、天体物理、地球物理、核聚变、到气体放电物理之间的内在联系。
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